机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1998 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 超微细图形加工技术进展 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 1998, 卷号: 18, 期号: 2, 页码: 12，83-94 作者:  田如江;  马俊如   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/25 光刻  电子束曝光  纳米加工  超微细图形