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星用超深亚微米CMOS器件辐射效应及其可靠性研究 学位论文  OAI收割
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院研究生院, 2012
作者:  
崔江维
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自对准硅化物工艺研究 期刊论文  OAI收割
微电子学, 2004, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 631-635,639
作者:  
万春明;  王大海;  徐秋霞
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