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双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 1999, 期号: 06, 页码: 45-46+58
曲轶; 高欣; 张宝顺; 薄报学; 张兴德
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2013/03/11