机构

• 力学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1986 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 感应耦合射频等离子体(英) 期刊论文  OAI收割 工业加热, 1986, 期号: 4, 页码: 53-56 朱清文 收藏  |  浏览/下载：1121/98  |  提交时间：2009/08/03 感应耦合  射频等离子体  等离子炬  感应等离子体  耦合效率  维持功率  光谱化学  趋肤深度  大气压状态