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• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线投影光刻  多层膜反射镜  软X射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源