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机构
微电子研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2005 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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水下摄像系统的设计与研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
沈凌敏
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提交时间:2011/10/09
水下摄像
散射
光照度
辅助照明
防腐
193nm光刻散射条技术研究
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 4,360-363
作者:
康晓辉
;
张立辉
;
王德强
;
范东升
;
谢常青
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提交时间:2010/05/26
光刻 亚分辨率辅助图形 散射条 离轴照明 分辨率增强 光学临近效应校正