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长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [1]
2012 [1]
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共2条,第1-2条
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具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:
赵磊
;
彭海峰
;
于新峰
;
东立剑
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提交时间:2016/07/06
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229
作者:
巩岩
;
赵磊
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/03/11
光学器件
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形