机构

• 电子学研究所 [1]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]
• 2016 [1]

学科主题

• 传感器 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 分层模型通孔通道的等效电容参数快速提取 期刊论文  OAI收割 电子设计工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 22, 页码: 188-193 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2021/05/06 高速设计  通孔电容  电容耦合效应  分层模型  同轴线导体  Hyperlynx仿真   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿