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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 学位论文 [1]

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• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 易万兵   收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2012/03/06 氮化钛  半导体制造  薄膜电阻率  晶体结构  金属有机物化学气相淀积