机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文  OAI收割 长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45 作者:  齐克奇 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻物镜波像差检测平台  针孔定位  自解耦  有限元方法