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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 离子束辅助沉积铪膜耐热应力性能研究 会议论文  OAI收割 第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议, 2004 江炳尧; 任琮欣; 冯涛; 蒋军; 柳襄怀 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 钼栅极 电子发射 离子束辅助沉积 行波管 铪膜 耐热应力 工艺条件