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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2005 [1]
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CH_4+Ar混合等离子体注入新工艺
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2005, 期号: 03
邢玉梅
;
俞跃辉
;
陈可炜
;
郑志宏
;
杨文伟
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提交时间:2012/01/06
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