机构

• 力学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 期刊论文  OAI收割 电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 13-16 作者:  王明军;  周勇;  陈吉安;  杨春生;  张亚民 收藏  |  浏览/下载：1082/26  |  提交时间：2010/05/03 材料测量与分析技术  镍膜微桥  MEMS技术  弹性模量  残余应力