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机构
微电子研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2003 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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基于负熵的人员脚步震动信号检测识别算法
期刊论文
OAI收割
小型微型计算机系统, 2010, 期号: 01
梁志强
;
魏建明
;
赵俊钰
;
刘海涛
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提交时间:2012/01/06
阵列波导光栅(AWG)
Si基SiO2
光波导
光波分复用
集成光学
适用于阵列波导光栅制作的厚SiO2陡直刻蚀技术
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 11, 页码: 4,1222-1225
作者:
牛立华
;
魏珂
;
刘训春
;
曹振亚
;
王润梅
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提交时间:2010/05/25
阵列波导光栅(awg) Sio2
感应耦合等离子体刻蚀(icp)