机构

• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1983 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 真空热处理对氧化物半导体薄膜电阻的影响 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 1983, 期号: 3, 页码: 33-35 李春鸿; 姜克斌 收藏  |  浏览/下载：135/0  |  提交时间：2012/06/15 喷涂热解法  真空热处理  降低电阻率  薄膜电阻  氧化物半导体  喷涂时间