机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械陀螺  x轴  音叉式陀螺  “8悬臂梁-质量块”结构  限制槽  (111)硅晶圆