机构

• 沈阳自动化研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文  OAI收割 信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482 作者:  郑秀红;  胡静涛;  于海斌 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/05/29 随机Petri网  模型  集束装备  马尔可夫链分析  吞吐率  机械臂  晶圆  加工过程  腔体  利用率   基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 278-282 作者:  胡静涛;  石泽兴   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/11/29 Ic集束装备  晶圆加工  Vrml  Petri网  仿真