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	虚拟半导体集束设备软件设计与开发学位论文 OAI收割硕士, 沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008 石泽兴收藏 \| 浏览/下载：89/0 \| 提交时间：2010/11/29 半导体集束设备验证模拟 Petri网 VRML
	半导体设备SECS/GEM通信软件的开发学位论文 OAI收割沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007 作者: 邓珂 \| 收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2010/11/29 Hsms Secs-ii Gem 集束设备
	真空机器人传输模组软件控制平台的构建学位论文 OAI收割沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007 作者: 潘萌 \| 收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2010/11/29 真空机械手集束型设备传输模组时间petri网
	真空机械手控制方法研究学位论文 OAI收割沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007 作者: 谢冬梅 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2010/11/29 集束型设备真空机械手轨迹控制 H∞控制同步控制
	基于启发式搜索的半导体集束设备调度期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 545-548 作者: \| 收藏 \| 浏览/下载：9/0 \| 提交时间：2010/11/29 集束设备调度启式搜索