机构

• 电子学研究所 [5]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [8]

内容类型

• 学位论文 [5]
• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2014 [1]
• 2009 [4]
• 2008 [1]
• 2005 [1]

学科主题

• 传感器 [2]

筛选

浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2014/06/14 MEMS  气压传感器  静电激励  谐振器  气压仪表   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   一种基于低轨卫星通信的定时同步研究 期刊论文  OAI收割 无线电通信技术, 2009, 期号: 05 赵君伟; 姜泉江; 刘会杰 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 Q值  静电激励  阶跃响应  等效电刚度   超冷中性等离子体射频共振诊断的建模及其性质研究 学位论文  OAI收割 博士后: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  陆荣华 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28 超冷等离子体，射频激励诊断，静电等离子体波   参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究 会议论文  OAI收割 第八届全国动力学与控制学术会议, 2008 张文明; 孟光; 周健斌; 陈杰宇 收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2012/01/18 微机电系统 参数激励 静电驱动 共振传感器 压膜阻尼 非线性动力   静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 171-173 彭春荣; 龚超; 陈贤祥; 陶虎; 白强; 罗蕾; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/19 微型电场传感器  相关检测  差分检测  静电梳齿激励