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OAI收割 [8]
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期刊论文 [6]
学位论文 [2]
发表日期
2018 [1]
2017 [1]
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140单元MEMS变形镜研制及测试分析
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者:
汪为民
;
王强
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2019/08/23
微机电系统
变形镜
自适应光学
静电驱动器
高分子水凝胶宏观组装与可控驱动行为
期刊论文
OAI收割
2017, 页码: 1
作者:
李金徽
;
许祖翔
;
付俊
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/04
响应型高分子水凝胶
宏观组装
静电作用
驱动器
MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935
作者:
汪为民,王强,邱传凯等
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/22
MEMS
静电驱动器
场致电子发射
场增强因子
名义发射面积
可靠性
基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 704-707
作者:
汪为民,王强,邱传凯等
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/22
MEMS
静电平行板驱动器
变形镜
弹性系数
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781
翟雷应
;
徐静
;
钟少龙
;
吴亚明
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2013/02/22
微机电系统(MEMS)
光相位调制器
无交叠垂直梳齿驱动器
平动微镜
保角变换法
静电驱动
大行程MEMS面外驱动器的设计与分析
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
任豪
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提交时间:2014/12/11
微机电系统
静电力
面外驱动器
大行程
表面微加工
杠杆原理
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2011, 期号: 03
肖育华
;
宋朝辉
;
戈肖鸿
;
车录锋
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/04/13
蛇形曲折梁
塑性变形
垂直驱动
静电梳齿驱动器
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
肖育华
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浏览/下载:123/0
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提交时间:2012/03/06
蛇形曲折梁
塑性变形
垂直驱动
静电梳齿驱动器