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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

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• 学位论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 刘剑   收藏  |  浏览/下载：139/0  |  提交时间：2012/03/06 悬臂梁  压阻检测  静磁力驱动  自标定  AGC  谐振器  闭环电路