机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167 作者:  赵阳;  巩岩;  赵阳 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 几何光学  非平行反射扩束单元  子光束叠加  照明均匀性