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SIMOX SOI埋氧注氮工艺对埋氧中固定正电荷密度的影响 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2007, 期号: 09
郑中山; 张恩霞; 刘忠立; 张正选; 李宁; 李国花
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2012/01/06