机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 3, 页码: 19-23,28 作者:  王永坤;  余建祖;  余雷;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线掩模  掩模形变  背面刻蚀  有限元  平面内形变  非平面形变