机构

• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 981, 985 郭立萍; 黄惠杰; 王向朝 收藏  |  浏览/下载：1623/245  |  提交时间：2009/09/24 光刻  照明均匀性  非序列光学元件  积分棒