机构

• 金属研究所 [1]
• 文献情报中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2019 [1]
• 1987 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 重大科技基础设施预先研究管理解析及思考 期刊论文  OAI收割 科技管理研究, 2019, 期号: 2, 页码: 31-36 作者:  樊潇潇;  李泽霞;  宋伟;  陈娟   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2019/03/06 重大科技基础设施  预先研究  概念研究  工程技术验证   硅中氧沉淀的高分辨电镜研究 期刊论文  OAI收割 科学通报, 1987, 期号: 15, 页码: 1198-1199 肖治纲,蔺锡伟,柯俊,秦禄昌 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/04/12 高分辨电镜研究:6353  方法研究:4669  氧沉淀:4372  集成电路工艺:2400  直拉硅单晶:2231  预先热处理:1658  沉淀速率:1325  硅中氧:1179  有害杂质:1139  新技术:875