机构

• 自动化研究所 [2]
• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [3]

发表日期

• 2013 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 褚金钱 收藏  |  浏览/下载：95/0  |  提交时间：2013/08/19 装载端口  预对准  坐标系标定   基于PLC的运动控制与过程控制研究 学位论文  OAI收割 工学硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008 李庆涛 收藏  |  浏览/下载：130/0  |  提交时间：2015/09/02 运动控制  过程控制  掩膜版传输  预对准  反渗透膜  膜热消毒  管道热消毒  motion control  process control  mask transport system  pre-alignment  reverse osmosis  membrane hot-disinfection  pipe hot-disinfection   掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究 学位论文  OAI收割 工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007 作者:  刘云 收藏  |  浏览/下载：107/0  |  提交时间：2015/09/02 掩模版  四象限光电探测器  粗预对准  精细预对准  显微视觉  运动控制  Petri网  photo mask  FQPD  coarse pre-alignment  fine pre-alignment  microscopic vision  motion control  Petri net