机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文) 期刊论文  OAI收割 发光学报, 2012, 期号: 01, 页码: 82-87 作者:  宋航;  李志明;  缪国庆;  蒋红;  黎大兵 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 金属有机物气相沉积  AlN  预通三甲基铝(TMAl)  应力