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	HiPIMS 金属/气体离子比的调控及其对TiN涂层性能的影响学位论文 OAI收割北京: 中国科学院大学, 2024 作者: 曾明亮 \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2024/06/03 高功率脉冲磁控溅射 TiN 等离子体特性离子辐照残余应力
	脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响期刊论文 OAI收割中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199 作者: 高海洋; 张斌 \| 收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2023/12/08 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS) 脉冲频率 TiN薄膜微观组织力学性能
	基体偏压对HiPIMS制备非晶碳膜结构和光电性能的影响期刊论文 OAI收割材料研究学报, 2018, 卷号: 32, 期号: 04, 页码: 283-289 作者: 张栋; 王丽; 郭鹏; 左潇; 黄美东 \| 收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2018/12/04 材料表面与界面非晶碳膜光电性能高功率脉冲磁控溅射微观结构
	高功率脉冲磁控溅射制备类石墨碳膜的光学和电学特性研究期刊论文 OAI收割 2017, 页码: 1 作者: 王丽; 柯培玲; 汪爱英 \| 收藏 \| 浏览/下载：45/0 \| 提交时间：2018/12/04 高功率脉冲磁控溅射类石墨碳膜微观结构光学特性电学特性
	高功率脉冲磁控溅射制备技术的研究期刊论文 OAI收割 2017, 页码: 1 作者: 柯培玲; 左潇; 汪爱英 \| 收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2018/12/04 高功率脉冲磁控溅射等离子体活性粒子
	HIPIMS制备Cr-B涂层及摩擦学性能期刊论文 OAI收割中国表面工程, 2015, 卷号: 28, 期号: 135, 页码: 13-19 张树参; 柯培玲; 李晓伟; 李志勇; 汪爱英收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2016/09/18 高功率脉冲磁控溅射 Cr-B涂层微结构摩擦性能