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高性能压电波前校正器驱动技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  
凡木文
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2017/01/03
压电倾斜镜的高压驱动及高速控制 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2015, 卷号: 23, 期号: 10, 页码: 2803-2809
作者:  
凡木文;  黄林海;  李梅;  饶长辉
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2016/11/15
用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计 期刊论文  OAI收割
压电与声光, 2013, 期号: 1, 页码: 94-97
作者:  
胡博;  唐小萍;  胡松;  胡志成
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2016/11/23