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	基于耦合光腔衰荡技术的高反射率测量期刊论文 OAI收割中国激光, 2020, 卷号: 47, 期号: 6, 页码: 222-226 作者: 杜星湖; 薛颖; 何星; 王帅; 杨平 \| 收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2021/05/11 测量光腔衰荡技术高反射率测量耦合光腔衰荡技术基横模
	基于透射光斑形态监测的光腔衰荡调腔方法期刊论文 OAI收割中国激光, 2020, 卷号: 47, 期号: 5, 页码: 415-421 作者: 薛颖; 杜星湖; 何星; 王帅; 杨平 \| 收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2021/05/11 测量光腔衰荡高反射率测量光斑模式调腔方法
	光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者: 李永收藏 \| 浏览/下载：91/0 \| 提交时间：2016/11/28 干涉测量子孔径拼接误差累积高反射率平面 45°平面镜
	高精度平面面形干涉测量技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者: 张敏收藏 \| 浏览/下载：46/0 \| 提交时间：2016/11/28 干涉测量相位提取二维FFT法绝对检验高反射率平面
	高精度平面面形干涉测量技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者: 张敏收藏 \| 浏览/下载：39/0 \| 提交时间：2016/11/28 干涉测量相位提取二维FFT法绝对检验高反射率平面