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采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2017 [1]
• 2009 [2]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格   |  收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2018/04/09 光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计   0．2THz连续波成像方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 张楠 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/07/19 0.2THz连续波  准光学传输系统  高斯波束  近场扫描成像  扫频测量成像  旋转扫描天线式快速成像  层析成像   0．2THz连续波成像方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 张楠 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2011/07/19 0.2THz连续波  准光学传输系统  高斯波束  近场扫描成像  扫频测量成像  旋转扫描天线式快速成像  层析成像   电子束曝光技术发展概况 期刊论文  OAI收割 世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 3,27-29 作者:  刘明;  张建宏   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/25 电子束  曝光技术  微电子技术  Sem  高斯扫描系统  成型束  抗蚀剂