机构

• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文  OAI收割 核技术, 2008, 期号: 06 朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/06/06 软X射线透射光栅  衍射效率  高级硅刻蚀  硅氧化工艺  严格耦合波方法  软X射线干涉光刻