机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 作者:  王丽萍;  周烽;  于杰;  王辉 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑