机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2014 [1]
• 2006 [1]

学科主题

• 半导体器件 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 赵晖 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2014/06/03 参考频率源  MEMS 谐振器  高阶谐振模态  振荡器  温度补偿   生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 金大重   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  生物传感器  微机械悬臂梁  高阶谐振模态  噪声机制