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机构
过程工程研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2004 [1]
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用高技术提高电子基础原料的档次,使电子行业步入良性发展轨道——等离子体技术在材料行业的应用
会议论文
OAI收割
第二届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会, 中国江苏无锡, 2004-10
马兵
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2013/09/29
高频等离子体:5142
等离子体技术:4724
基础原料:3126
电子行业:3006
金属电子材料:2737
集成电路:2637
发展轨道:2625
高技术:1979
电子元器件:1898
等离子体法:1882