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• 上海微系统与信息技术... [3]

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• OAI收割 [3]

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• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2009 [1]
• 2006 [1]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2009, 期号: 02 穆参军; 张飞岭; 张宁; 赵本刚; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 高g加速度传感器  温敏效应  掺杂浓度  动态敏感特性   Ⅲ/Ⅴ比对GaN等离子体辅助MBE生长的影响 期刊论文  OAI收割 光电子·激光, 2006, 期号: 08 隋妍萍; 于广辉; 俞谦荣; 齐鸣 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/01/06 高g加速度传感器  压膜阻尼  曲面过载保护  冲击响应   封装对MEMS高G值传感器性能的影响 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2002, 期号: 03 黄卫东; 彩霞; 徐步陆 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 高G值加速度传感器  传感器封装  频域分析  时域分析