机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2016 [1]
• 2006 [1]

学科主题

• 半导体器件 [1]
• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 AFM扫描探针的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016 何欢 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/06/03 扫描探针显微镜  AFM探针  MEMS  微悬臂梁  硅针尖   碳纳米管在硅基衬底上的化学气相沉积生长研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 李聃   收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/03/06 碳纳米管  化学气相沉积  多孔硅  压力传感器  AFM针尖