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高能物理研究所 [1]
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
iSwitch采集 [1]
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2013 [1]
2010 [1]
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Improved Growth Behavior of Atomic-Layer-Deposited High-k Dielectrics on Multilayer MoS2 by Oxygen Plasma Pretreatment
期刊论文
OAI收割
ACS Applied Materials and Interfaces, 2013, 卷号: 5, 期号: 11, 页码: 4739-4744
-
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提交时间:2016/05/16
MoS2
oxygen plasma treatment
atomic layer deposition
Al2O3
HfO2
The effect of atomic oxygen treatment on the oxygen deficiencies of hafnium oxide films
期刊论文
iSwitch采集
Optoelectronics and advanced materials-rapid communications, 2010, 卷号: 4, 期号: 10, 页码: 1493-1496
作者:
Ma, Z. W.
;
Xie, Y. Z.
;
Liu, L. X.
;
Su, Y. R.
;
Zhao, H. T.
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提交时间:2019/04/23
Hfo(2) films
Atomic oxygen treatment
O deficiency