机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Experimental analysis of solid immersion interference lithography based on backside exposure technique 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 8, 页码: 2509-2512 作者:  Li, Xupeng;  Shi, Sha;  Zhang, Zhiyou;  Wang, Jingquan;  Li, Shuhong 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/09/21 Solid immersion  Interference lithography  Backside exposure technique