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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [1]
学科主题
Materials ... [1]
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Preparation of Silica Abrasives from Water Glass and Application in Silicon Wafer Polishing
期刊论文
OAI收割
POWDER TECHNOLOGY AND APPLICATION II, 2010, 卷号: 92, 页码: 183-187
Hu,XK
;
Song,ZT
;
Wang,HB
;
Liu,WL
;
Qin,F
;
Zhang,ZF
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION
SOL-GEL METHOD
COLLOIDAL SILICA
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SLURRY