机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2001 [1]

学科主题

• Physics, A... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Evolution of hydrogen and helium co-implanted single-crystal silicon during annealing 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2001, 卷号: 90, 期号: 8, 页码: 3780-3786 Duo, XH; Liu, WL; Zhang, M; Wang, LW; Lin, CL; Okuyama, M; Noda, M; Cheung, WY; Wong, SP; Chu, PK; Hu, PG; Wang, SX; Wang, LM 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/03/24 INDUCED EXFOLIATION  INDUCED DEFECTS  COIMPLANTATION  MECHANISM  CAVITIES  AU