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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [2]
学科主题
Engineerin... [2]
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A silicon integrated micro nano-positioning XY-stage for nano-manipulation
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: -125004
Sun, LN
;
Wang, JC
;
Rong, WB
;
Li, XX
;
Bao, HF
收藏
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提交时间:2011/12/17
COMB-DRIVE ACTUATORS
PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER
DATA-STORAGE
A silicon integrated micro nano-positioning XY-stage for nano-manipulation
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: -125004
Sun, LN
;
Wang, JC
;
Rong, WB
;
Li, XX
;
Bao, HF
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提交时间:2011/12/17
COMB-DRIVE ACTUATORS
PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER
DATA-STORAGE