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Analysis of absolute flatness testing in sub-stitching interferometer 期刊论文  OAI收割
Proceedings of SPIE: 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technology: Optical Test, Measurement Technology, and Equipment, 2016, 卷号: 9684, 页码: 968438
作者:  Jia, Xin;  Xu, Fuchao;  Xie, Weimin;  Xing, Tingwen
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