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合肥物质科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [1]
学科主题
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射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究
期刊论文
OAI收割
中国民航学院学报, 2006, 卷号: 24
作者:
李立
;
刘峰
;
柴立全
;
王娟
;
孟月冬
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提交时间:2020/11/25
射频磁控溅射
Cr/CrN多层薄膜
微结构
纳米硬度
内应力