机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性 期刊论文  OAI收割 电子学报, 2004, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 1302-1304 作者:  吉元;  王晓冬;  李志国;  卢振军;  夏洋   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/26 Cu互连线  晶体学取向  晶粒尺寸  电徙动