机构

• 力学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文  OAI收割 现代科学仪器, 2003, 期号: 4, 页码: 45-48 作者:  张泰华;  王莉 收藏  |  浏览/下载：1031/16  |  提交时间：2010/05/03 Cu膜微桥  MEMS技术  力学性能