机构

• 光电技术研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• iSwitch采集 [1]
• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Fabrication of submicron photon sieve using E-beam lithography and X-ray lithography 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 10, 页码: 3178-3181 作者:  Jiang, Wenbo;  Hu, Song;  Xie, Changqing;  Zhu, Xiaoli;  Zhao, Lixin 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/09/21 Submicron photon sieve  E-beam lithography  X-ray lithography  Key technique  Error analysis   Systematic considerations for the patterning of photonic crystal devices by electron beam lithography 期刊论文  iSwitch采集 Optics communications, 2007, 卷号: 271, 期号: 1, 页码: 241-247 作者:  Yu, Hejun;  Yu, Jinzhong;  Sun, Fei;  Li, Zhiyong;  Chen, Shaowu 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/05/12 Photonic crystal  E-beam lithography  Resist  Stitching error  Proximity effect correction