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Silicon-on-insulator structure fabricated by electron beam evaporation of Si on porous Si and epitaxial layer transfer 期刊论文  OAI收割
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2001, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 662-664
Liu, WL; Duo, XZ; Wang, LW; Zhang, M; Shen, QW; Lin, CL; Chu, PK
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2012/03/24