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近代物理研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
会议论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2007 [3]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条，第1-3条
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Production of EUV power with SECRAL
会议论文
OAI收割
作者:
Zhao, Huan-Yu
;
Zhao, Hong-Wei
;
Sun, Liang-Ting
;
Zhang, Xue-Zhen
;
Sheng, Liu-Si
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提交时间：2018/08/20
EUV light source
ECR plasma
EUV power
Production of EUV power with SECRAL
会议论文
OAI收割
作者:
Zhao, Huan-Yu
;
Zhao, Hong-Wei
;
Sun, Liang-Ting
;
Zhang, Xue-Zhen
;
Sheng, Liu-Si
|
收藏
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浏览/下载：24/0
|
提交时间：2018/08/20
EUV light source
ECR plasma
EUV power
Production of EUV power with SECRAL
期刊论文
OAI收割
HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2007, 卷号: 31, 期号: Suppl, 页码: 229-231
作者:
Zhao, Huan-Yu
;
Zhao, Hong-Wei
;
Sun, Liang-Ting
;
Zhang, Xue-Zhen
;
Sheng, Liu-Si
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收藏
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浏览/下载：21/0
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提交时间：2010/10/29
EUV light source
ECR plasma
EUV power
